第252章 造访常春光机所

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样一来，无论是继续深入研发euv光刻机，或是其他更先进的光刻技术，都可以用得着。

        飞机还是很快的，不过2个小时便到达了常春。

        夏季初临，在常春也开始暖和了起来。

        江成等几人抵达的时候，差不多中午了，阳光照射，有些热意了。

        首先去的地方，是常春光机所，位于两道区东湖大道。

        光机所和欧普光电就隔了一条道路，冼珠峰是光机所所长，也是欧普光电的董事长。

        进了光机所，只见得一个大大圆形花坛，右侧是一片淡红色的矮层建筑，只有花坛后面，才是一个15层楼的行政办公楼。

        冼珠峰带着人已经在等着了。

        “卫国院士，江董，欢迎来到光机所指导工作啊！”冼珠峰带着热情的笑容，走向李卫国院士，伸手一握。

        李卫国呵呵笑道，“冼董，这次叨扰了啊！”

        “您老能来，可是我们荣幸，以后可得常来。”冼珠峰笑道。

        江成微微一笑，“冼董，我们直接去看看你们的新突破吧。”

        “江董，你别总是这么急。”冼珠峰略一笑，“行，咱们直接去实验室。”

        随后，一行人边走边聊了起来。

        冼珠峰也是技术工人出身的，对这些镜头的参数都是信口就来，完全不用总工插话。

        等进了实验室，大伙按要求换了蓝色的实验服。

        江成也看到了一个仪器台上摆放着显微观测仪器，下面是一个凸透镜，光滑如镜。

        “……我们的镜头通过高精度机床铣磨成型后，经过小磨头抛光、磁流变抛光、离子束抛光等超精密抛光手段，再通过镀减反射膜，基本上24组镜头，已经突破了22组。”指着眼前的镜头，冼珠峰介绍道。

        李卫国对这一块不算很熟悉，只是听着。

        但江成不一样，直接问起了关键的参数，“投影物镜的数值孔径达到了多少？”

        “达到了0.93，这真是靠人工整出来的，太不容易了。”冼珠峰叹了口气。

        “分辨率呢？”

        “能达到22nm。”

        “那还不错。”江成点点头，伸手轻触仪器，一边继续问着，一边顺手摸鱼了起来。

        ……
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